随着电力行业的迅猛发展，电力行业基础建设和设备的投入，尤其是SF6电器设备的不断增加，对SF6电气设备在安装调试、检修维护的要求越来越高，相关部门对SF6电器设备（尤其是GIS）施工及检修过程中的抽真空和回充补气提出更高的质量和时间要求。
六氟化硫气体SF6抽真空装置结构特征：
具有回收、充放、净化、抽真空、贮存、灌瓶等综合性功能，系统比较完全，参见附录一系统图。各功能的串联或切换主要通过操作集中于面板一侧的电控箱和球阀来完成。
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。
在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。
净化功能是在完成上述回收、充放功能时同步完成的。
系统中设置了三只油分离器，分别安装在真空泵出口一只及压缩机的出口二只，以有效去除SF6气体所带的油份。
绝缘油、气施工设备
1 真空滤油机 台 2 净油能力6000L/h；真空度＜60Pa
2 干燥空气发生器 台 1 露点小于-40℃，参考流量2m³/min
3 SF6气体回收装置 台 2 抽气速率≥40m³
4 SF6气体真空充气装置 台 2 抽气速率≥45L/s
5 真空泵 台 2 ≥4000m³/h
性能
产品型号真空泵速率（L/s）极限真空
（pa）抽真空时间（s）
170L340L680L1360L2700L5400L
SG208585≤5*10-22412204080
?外型：90cm×65cm×1200cm（长×宽×高）
?重量：350Kg 左右
?工作电压：380~460V 50Hz交流电
?噪音水平：<78dB（A）
