SF6气体抽真空装置工作原理和结构特征：
具有回收、充放、净化、抽真空、贮存、灌瓶等综合性功能，系统比较完全，参见附录一系统图。各功能的串联或切换主要通过操作集中于面板一侧的电控箱和球阀来完成。
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。
在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。
净化功能是在完成上述回收、充放功能时同步完成的。
系统中设置了三只油分离器，分别安装在真空泵出口一只及压缩机的出口二只，以有效去除SF6气体所带的油份。
系统回路中设置了干燥过滤器，以保证进入贮存容器的SF6的纯度并有效去除水份。过滤器带有加热再生装置，可在抽真空下加热再生，分子筛从而能反复使用。
系统中设有可靠的安全保护装置，高压压力控制器安装在SF6压缩机排气口，一旦排气压力超过限定值它会自动停止压缩机的工作，待压力下降后再重新启动压缩机；安全阀安装在贮存容器上一旦超压安全阀自动打开排放气体，压力下降后自动关闭。
另外，系统中还设置了监视仪表和控制仪表共七只，其中真空计一只，安装在装置回收进气口，并在真空计前装置了DN8阀门，需要观察时打开即可；压力表五只，分别安装在回收进气口、SF6压缩机排气口、冷冻压缩机吸排气口和贮存容器上；冷冻系统上设置了一只温度计，利用温包感应SF6液体温度。
SF6气体抽真空装置技术特点
1、内置过滤吸附系统，可以吸附SF6气体中的的杂质、水份、分解产物和油份等。
2、一体化的设计和较小的体积便于移动和使用。
3、高效的过滤免维护系统，极大保证了回收SF6气体的质量。
4、内置相序保护器，无论何时均能免除主机因相序错误而反转的担忧。
5、所有电气系统均采用优质品牌。
6、优质的脚轮将极大的保护地面油漆，并减少推动时所需的人工。
7、整机为风冷无需外接水源。
8、内置温度保护系统即使在-20摄氏度下也能正常工作。
9、内置干燥加热系统，可确保干燥剂饱和之后可通过设备加热活化再生，从而无需更换干燥剂。
10、所有球阀为密封元件具有自动补偿性能。
11、具有内置电磁阀停电保护功能，杜绝真空泵停电或电机咬死返油。
