三轴罗茨干式真空泵
结构的优势
市场上所有的容积式真空泵从转子结构上来分，主要就分为单轴偏心和双轴同步，单轴偏心的主要以：旋片泵、液环泵、滑阀泵、涡旋泵，往复泵为主；由于是偏心转子，受到转动惯量和偏心力的影响和限制下，这类型的真空泵（除去液环泵）都是抽气量比较小，一般在10-500m3/h之间，转速随着叶轮直径加大而降低，像液环泵若是要到较高的抽气量，其转速非常低。同时偏心转子在运行时更容易造成震动。
双轴同步的主要以：罗茨泵、螺杆泵，爪式泵，多级罗茨泵为主；由于同心转子，受到转动惯量和偏心力的影响很小，因此这类型的真空泵的转速相对高很多。
对于容积式真空泵来说，转速是抽气效率的决定因素，因此在同一容积率下同心转子的真空泵要比偏心真空泵具有更高效的抽气能力。也是市场上发展未来的主要方向。
螺杆真空泵亦是一种容积式真空泵，采用一对互相啮合的螺杆实现容积周期性变化产生真空，从螺杆的几何维度上可以看出，螺杆泵抽气量属于一维的，即螺杆的直径的决定了其节螺环的容积率，也就是实际的抽气能力，而螺杆的长度是由螺环的节数决定的。而根据加工的复杂性和精度的难度，干式螺杆真空泵的抽气能力可以说完全被限定在80-2500m3/h之间，市场上且只有6款基础抽气能力 150，300，400，800，1500，3000的。
三轴罗茨干式真空泵的基础是建立在多级模块罗茨结构应用上，采用三 轴驱动方式，实现了相邻级数的转子的旋转方向相反，因此进气与排气处于相同径向的路径。该结构技术相比现有的螺杆泵、涡旋泵、两轴多级罗茨真空泵具有更好的散热、更耐磨损、腐蚀、更能承受粉尘、颗粒物、粘附物、可凝性介质。比其它任何类型真空泵具有无与伦比的性能和成本优势。
